Суть ИСП-МС состоит в том, что анализируемый образец (в нашем случае то, что получено с помощью лазерной абляции) превращают в аэрозоль. Он подается в аргоновую индуктивно-связанную плазму. Под воздействием высокой температуры все содержащиеся в аэрозоле вещества распадаются на атомы и ионизируются». Масс-спектрометр идентифицирует образовавшиеся ионы, сопоставляя их массу и заряд, а также определяет долю этих частиц в общем объеме.